플라즈마 및 표면처리 시스템

MICROPULS® Everest

MICROPULS® Everest는 마이크로펄스 플라즈마를 이용하여 다양한 금형, 공구 또는 부품의 표면을 처리하는 장비입니다.

장비특징

· 높은 온도 균일성 : 독립적으로 제어되는 3개의 가열 및 냉각 섹션으로 균일한 온도 유지합니다.

· 제품의 온도를 직접 체크 가능 : 절연 세라믹 없이 열전대를 제품에 직접 배치하여 정확한 온도를 측정할 수 있습니다.

· 제너레이터 성능 : DC, Uni-and bipolar pulsing (모델명 : EVERGLOW), 자체 생산 모듈러로 강력한 성능을 제공합니다.

· 빠른 아크 감지 : 플라즈마 제너레이터에 통합된 아크 감지 기능으로 <0.3us 이내 빠른 아크 감지합니다.

· 압도적인 공정 재현성 : 온도, 제너레이터의 성능, 레시피의 저장 기능을 통해 일관된 공정 및 결과물 제공합니다.

· 최단 공정 시간 : 대류 방식으로 빠른 가열, 내외부 팬을 통하여 빠르게 냉각합니다. (옵션 blast cooling 과 inner ventilator)

· 최고의 공정 안정성 : 자동화된 알람 관리로 시스템과 부품을 보호합니다.

· 쉬운 조작성 : Windows 기반의 사용자 인터페이스로 직관적이고 쉽게 조작할 수 있습니다.

· 에너지 효율적 :가열 냉각 시스템 출입구에 공압 자동식 플랩 방식을 적용하여 에너지 손실을 최소화합니다.

· 무인 완전 자동화 : 레시피의 벨류 값에 맞춰 실제 벨류값을 신속하게 제어하고, 한 챔버의 프로세스가 완료되면 자동으로 다른 프로세스로 전환합니다.

· 상세하고 안전한 프로세스, 불량 프로토콜 : 레시피, 차트, 알람 등을 저장하여 문제 발생 시 쉽게 확인하고 조치 가능합니다.

· 적은 설치 면적 : 상대적으로 적은 Food print로 설치 공간을 절약합니다.

· Inner Anoode 

· 완전 자동 컨트롤되는 유압 리프트 방식입니다.